Katoda jest podgrzana do wysokiej temperatury. W wyniku termoemisji elektrony mogą opuścić jej materiał. Przyspieszane napięciem anodowym lecą w stronę anody
Anoda - w jej materiale hamuja elektrony. Ich energia zamienia się na promieniowanie rentgenowskie
Bańka próżniowa - dzięki próżni elektrony mają zwobony lot z katody do anody, nie rozpraszając się na cząsteczkach powietrza
Radiator - odprowadza ciepło od anody, która wskutek bombardowania elektronami rozgrzewa się do wysokich temperatur
Wentylator - chłodzi radiator
Wnęka pomiarowa
Kolimator sprawia, że wiązka ma postać wąskiego paska
Kryształ pełni funkcję monochromatora zgodnie ze wzorem Bragga
Detektor (licznik Geigera-Müllera) zlicza fotony wpadające do jego objętości czynnej mierząc w ten sposób natężenie promieniowania
Goniometr obraca podstawką na kryształ i uchwytem na detektor zgodnie z ustawionym programem
Ekran fluorescencyjny przetwarza promieniowanie rentgenowskie na światło widzialne